真空炉系统多采用开式循环系统。系统由循环水池，冷却水循环泵，应急冷却水箱，板式换热器等组成。系统中比较关键的是需要设置一座有效容积较大的循环水池，此水池在系统正常运转时仅作为水泵吸水池使用，在停电等紧急情况下，冷水机组或冷却塔停止运行，无法为真空炉系统提供冷媒的时候，冷却水循环泵配备应急电继续工作，将管网及水池内水继续打循环，因水的比热大于硅的比热，利用循环水池内的水把铸锭炉中高温硅的热量吸收掉，从而把铸锭炉的温度降下来，保证炉体不至于在停电的时候产生损坏甚至爆炸危险。循环水池的储水容量的确定即根据将系统中所有炉体内的硅料降温至安全温度的时候，水池中的水的温度不至于升高到冷却水系统管网及设备不耐受的程度。冷却水系统必须要为真空炉循环水泵配应急电源，此应急电源一般采用柴油发电机，为了保证在柴油发电机启动之前，炉体内仍然有冷却水流过，一般会在真空炉系统中设置一座高位应急冷却水箱，此水箱中的水在系统停电时，依靠重力流经炉体对炉体进行冷却。